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半導體冷水機的作用

點擊次數:4233    更新時間:2017-07-21

半導體冷水機的作用

    半導體冷水機是指 應用在半導體領域,如掃描光刻機、微納坐標測量機、掃描探針顯微鏡等超精密儀器的高精度冷水機組。

    半導體冷水機的出現以及廣泛應用,是隨著科技的不斷發展,現代超精密制造、加工、測量儀器對工作環境提出了苛刻要求,尤其是以光刻機為代表的超大規模集成電路制造設備,其高集成度導致常規散熱方法遠遠不能滿足要求,同時投影物鏡的光刻質量、運動部件的定位精度以及測量裝置的測量精度等都對環境參數的變化特別是溫度的變化尤為敏感。因此,環境參數尤其是溫度的控制成為一項關鍵問題,而半導體冷水機的出現正好解決了這一難題。

 半導體冷水機溫度控制系統是保證步進掃描光刻機、微納坐標測量機、掃描探針顯微鏡等超精密儀器設備良好工作狀態的重要組成單元。

半導體冷水機參數:

產品名稱

型號

制冷量

出水壓力
Kgf/cm

水流量
l/min

功率
W

水箱容積
L

外形尺寸

長*寬*高

半導體

冷水機

Kw/h

Kca/h

TF-LS-300W

0.3

258

0.1-0.6

9-20

280

5.5

505*230*500

TF-LS-600W

0.6

516

0-2

0-60

900

16

650*550*750

TF-LS-1KW

1

860

0-2

0-60

900

16

650*550*750

TF-LS-1.5KW

1.5

1290

0-2

0-60

900

16

650*550*750

TF-LS-2KW

2

1720

0-2

0-60

1200

27

650*550*900

TF-LS-2.5KW

2.5

2150

0-2

0-60

1200

27

650*550*900

TF-LS-3KW

3

2580

0-2

0-60

1500

37

650*650*1050

TF-LS-3.5KW

3.5

3010

0-2

0-60

1500

37

650*650*1050

TF-LS-4KW

4

3440

0-2

0-60

2000

43

700*650*1050

TF-LS-4.5KW

4.5

3870

0-2

0-60

2000

43

700*650*1050

TF-LS-6KW

6

5160

0-2

0-60

2300

45

750*650*1050

TF-LS-6.5KW

6.5

5590

0-2

0-60

2300

45

750*650*1050

TF-LS-8KW

8

6880

0-2

0-60

2865

47

750*700*1050

TF-LS-10KW

10

8600

0-2

0-60

2865

47

750*700*1050

TF-LS-12KW

12

10320

0-2

0-60

3870

80

1200*650*1200

TF-LS-15KW

15

12900

0-2

0-60

4600

88

1200*715*1200

TF-LS-18KW

18

15480

0-2

0-60

5280

105

1350*750*1500

TF-LS-20KW

20

17200

0-2

0-60

7150

180

1350*800*1600

TF-LS-23KW

23

19780

0-2

0-60

7150

180

1350*800*1600

TF-LS-25KW

25

21500

0-2

0-60

9000

195

1350*850*1735

TF-LS-30KW

30

25800

0-2

0-60

9000

195

1350*850*17358

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